【关于九游首页】离子溅射仪:解析材料微观结构的新利器
离子溅射仪原理:探索材料表面的奥秘 随着材料科学的发展,对材料表面的研究越来越受到重视。而离子溅射仪作为表面分析技术中的一种,已经成为研究材料表面的重要手段之一。那么,离子溅射仪是如何工作的呢? 1. 离子源 离子源是离子溅射仪的核心部件,它能够产生高能离子束。离子源的种类主要有两种:一种是电子轰击离子源,另一种是离子轰击离子源。电子轰击离子源是通过在阴极表面加高压电子束,使其与气体分子发生碰撞,从而产生离子。而离子轰击离子源则是通过将气体注入到离子源中,然后在离子源内部通过电场加速,产生高能